怎么测试表征薄膜耐磨性？一般使用什么设备？

来源:转载网络作者： andywei2013

使用PVD及溅射的方法制备的TiC薄膜，估计就两个微米的厚度，该怎么测试表征其耐磨性？一般使用什么设备？求大神指教。

采用纳米压痕能够获得薄膜硬度、模量、粘接性能、膜层状态、断裂韧性等力学性能。纳米划痕可以表征墓体的表面状况、薄膜/结合力、耐磨损等性能。
UMT显微力学测试仪上可以测试了薄膜的耐磨损性能
参考文献：
基于纳米试验技术的薄膜基体体系显微力学性能表征
射频功率对氧化铬薄膜的力学性能和耐磨损性能的影响

我看文献上好多使用叫Ball(Sphere)-on-flat（中文不知道叫什么）的设备来测试磨损性能，不知道能不能用在薄膜的测试上。

好像是叫球盘磨损试验，不知道哪里有设备

我这边有设备，可以测试

虽然膜很薄，但处理得当的话会使耐磨性能大幅度提高。因此可先用一般的摩擦试验机实验一下看看结果后再说。